Tolok ketebalan & ketumpatan kawasan bersepadu CDM

Aplikasi

Proses salutan: pengesanan dalam talian bagi ciri-ciri kecil elektrod; ciri-ciri kecil biasa elektrod: kebuluran percutian (tiada kebocoran pengumpul arus, perbezaan kelabu kecil dengan kawasan salutan biasa, kegagalan pengenalan CCD), calar, kontur ketebalan kawasan penipisan, pengesanan ketebalan AT9 dsb.

Hantar e-mel kepada kami

Butiran Produk

Tag Produk

Prinsip pengukuran

Prinsip pengukuran ketumpatan permukaan

Kaedah penyerapan sinar-X/β

Prinsip pengukuran ketebalan

Korelasi & triangulasi laser

Ciri ujian teknikal CDM

Senario 1: Terdapat cuti/ kekurangan 2 mm lebar pada permukaan elektrod dan satu tepi lebih tebal (garisan biru seperti ditunjukkan di bawah). Apabila titik sinar ialah 40 mm, kesan bentuk data asal yang diukur (garisan oren seperti ditunjukkan di bawah) kelihatan lebih kecil dengan jelas.

Senario 2: data profil kawasan penipisan dinamik 0.1mm lebar data

Ciri perisian

Parameter teknikal

Nama	Indeks
Kelajuan mengimbas	0-18m/min
Kekerapan pensampelan	Ketumpatan permukaan: 200 kHz; ketebalan: 50 kHz
Julat ukuran ketumpatan permukaan	Ketumpatan permukaan: 10~1000 g/m²; ketebalan: 0~3000 μm;
Pengulangan pengukuran ketepatan	Ketumpatan permukaan: Kamiran 16s: ±2σ: ≤±nilai sebenar * 0.2‰ atau ±0.06g/m²; ±3σ:≤±nilai sebenar * 0.25‰ atau +0.08g/m²; Kamiran 4s: ±2σ: ≤±nilai sebenar * 0.4‰ atau ±0.12g/m²; ±3σ: ≤±nilai sebenar * 0.6‰ atau ±0.18g/m²;Ketebalan: Zon 10 mm:±3σ: ≤±0.3μm; Zon 1 mm: ±3σ: ≤±0.5μm; Zon 0.1 mm: ±3σ: ≤±0.8μm;
Korelasi R2	Ketumpatan permukaan >99%; ketebalan >98%;
Titik laser	25*1400μm
Kelas perlindungan sinaran	GB 18871-2002 standard keselamatan negara (pengecualian radiasi)
Hayat perkhidmatan radioaktif sumber	β-ray: 10.7 tahun (separuh hayat Kr85); X-ray: > 5 tahun
Masa tindak balas pengukuran	Ketumpatan permukaan < 1ms; ketebalan < 0.1ms;
Kuasa keseluruhan	<3kW