Tolok Pengukuran Ketumpatan Areal X-Ray Super
Prinsip pengukuran
Apabila sinar menyinari elektrod, sinar akan diserap, dipantulkan dan diserakkan oleh elektrod, mengakibatkan pengecilan tertentu keamatan sinar selepas elektrod yang dihantar berbanding dengan intensiti sinar kejadian, dan nisbah pengecilannya adalah eksponen negatif dengan berat atau ketumpatan luas elektrod.
I=I_0 e^−λm⇒m= 1/λln(I_0/I)
I_0 : Keamatan sinar awal
I : Keamatan sinar selepas menghantar elektrod
λ : Pekali penyerapan objek yang diukur
m : Ketebalan/ketumpatan kawasan objek yang diukur

Sorotan peralatan

Perbandingan penderia semikonduktor dan pengukuran penderia laser
● Pengukuran garis besar dan ciri terperinci: ukuran garis besar ketumpatan kawasan resolusi spatial milimeter dengan kelajuan tinggi dan ketepatan tinggi (60 m/min)
● Pengukuran lebar ultra: boleh disesuaikan kepada lebih daripada 1600 mm lebar salutan.
● Pengimbasan kelajuan ultra tinggi: kelajuan pengimbasan boleh laras 0-60 m/min.
● Pengesan sinar semikonduktor yang inovatif untuk pengukuran elektrod: 10 kali lebih cepat tindak balas daripada penyelesaian tradisional.
● Didorong oleh motor linear dengan kelajuan tinggi dan berketepatan tinggi: kelajuan pengimbasan meningkat 3-4 kali ganda berbanding dengan penyelesaian tradisional.
● Litar pengukuran berkelajuan tinggi yang dibangunkan sendiri: kekerapan pensampelan adalah sehingga 200kHZ, meningkatkan kecekapan dan ketepatan salutan gelung tertutup.
● Pengiraan kehilangan kapasiti penipisan: lebar tempat boleh sehingga 1 mm kecil. Ia boleh mengukur ciri terperinci dengan tepat seperti garis besar kawasan penipisan tepi dan calar dalam salutan elektrod.
Antara muka perisian
Paparan tersuai antara muka utama sistem pengukur
● Penentuan kawasan penipisan
● Penentuan kapasiti
● Penentuan gores

Parameter Teknikal
item | Parameter |
Perlindungan sinaran | Dos sinaran 100mm dari permukaan peralatan adalah kurang daripada 1μsv/j |
Kelajuan mengimbas | 0-60m/min boleh laras |
Kekerapan sampel | 200k Hz |
Masa menjawab | <0.1ms |
Julat pengukur | 10-1000 g/㎡ |
Lebar titik | 1mm, 3mm, 6mm pilihan |
Ketepatan pengukuran | P/T≤10%Kamiran dalam 16 saat:±2σ:≤±nilai sebenar×0.2‰ atau ±0.06g/㎡; ±3σ:≤±nilai sebenar×0.25‰ atau ±0.08g/㎡;Kamiran dalam 4 saat:±2σ:≤±nilai sebenar×0.4‰ atau ±0.12g/㎡; ±3σ:≤±nilai sebenar× 0.6‰ atau ±0.18g/㎡; |